新製品のご紹介
超小型半導体用４ＣＨマルチチャンネル超音波流量計変換器
・数学的に純粋な「相関法」をローコストで実現した高精度な超音波流量計です
- (1)CHあたりの費用が大変に安価
- (2)超小形４ＣＨワンボード超音波流量計変換器 / Ａ５サイズ基板で構成
- (3)低流量から高精度で計測できる / ５０ｍＬ／ｍｉｎフルスケールから測定可能
- (4)微小流量、気泡、高精度計測などのアプリに合わせて、相関法やゼロクロス法など最適な超音波伝播時間の測定方法をソフトウエアで簡単に選択可能
- (5)短時間バッチ運転に対応可能 / 例えば １Ｓバッチ処理などのアプリケーション
- (6)気泡混じりの流体の計測に最適
- (7)高速応答 / 全チャンネル２０ｍＳ毎に流量データ更新
- (8)簡単調整 / 調整ボタンのワンプッシュ操作のみ
- (9)省スペース・省エネルギー・省配線を実現 / パネル内の高密度実装を可能にする
- (10)進化した自己診断機能によって電子回路の状態の詳細を常時監視し、ステータス出力をする。Ｐｔ基板ユニット製造時での自動試験を当該変換器のＣＰＵが実行する
- (11)高速通信機能により流量モニターや全ＣＨのステータスが瞬時にわかる
- (12)爆発性の液体・雰囲気でも使用可能な本安性能をもつ流量計
製品の主な仕様
| 本安仕様 | ia IIC T6 |
| 適用口径 | Φ4 Φ6 |
| 測定範囲 | 0～0.05……3.0 L/min 0～0.4……8.0 L/min |
| 測定精度 | 1%RD |
| 入力 | 4CH、Φ4/Φ6 任意接続・設定可能 |
| PZT励振周波数 | 1Mから4MHzのソフト選択可能 |
| センサ入力端子 | SMB(ロックつき) |
| 出力 | 瞬時流量パルス出力の４出力、フルスケールは、１ＫＨｚまたは、１０ＫＨｚを選択可能 各チャンネルアラームまたは、フォールト出力２出力（合計８出力) オープンコレクター 定格ＤＣ３０Ｖ，１００ｍＡ |
| 流量演算周期 | 各チャンネル全て20mS毎に流量演算出力 |
| 電源電圧 | DC24V±10% |
| 基盤形状 | ４CH部 90ｍｍＸ１50ｍｍ、電源部 90mmx150mmの基板（約Ａ６サイズ相当) 本安用バリアーボード４CH 90ｍｍＸ１50ｍｍ |
事業実績・製品のご紹介
半導体用テフロン製造液超音波流量計、口径Φ3～Φ20
半導体ウエハー洗浄装置や露光装置の各種液体の流量モニター用テフロン製
流量計です。
- ・流体に接液する管体材料がテフロンで構成され極めてクリーン
- ・製作台数は、20万台以上
ＰＶＣ製液体超音波流量計、口径Φ4～Φ100
汎用、安価な流量計です。
- ・流量センサーの材質はPVＣを使用
ＬＣＤ表示付き小型超音波流量計変換器
工作機などの機械に設置される汎用の小形・安価な流量計です。
- ・LED表示と設定、電流出力やRS４８５通信
プラインド形小型超音波流量計変換器
1センサー用の小形・安価な超音波流量計用変換器です。
- ・電流出力、パルス出力、アラームやステータス出力
- ・RS４８５のコンフィグレーション
ラックマウント形８ＣＨマルチチャンネル超音波流量計変換器
最大８CH（8セット）の超音波流量計センサーを接続できる変換器です。
- ・１CH当たりのコストを最小にできる
- ・高精度、バッチ計測
ネジ取付１０ＣＨ形マルチチャンネル超音波流量計変換器
最大１０CHまでの超音波流量計センサーを接続可能な変換器です。
- ・１CH当たりのコストを最小化
本安用バリアボード
可燃ガスに対する安全防爆システムの構築。
- ・超音波流量計のセンサー駆動、受信回路に挿入
クランプオン形超音波センサー
既存の配管の外から管内の流量を計測します。
タンクレベル計
タンクレベルを気中・液中の伝播時間で測定する機器です。
計測ラボの技術
関連リンク
